HVA 真空闸阀 真空插板阀 81000 系列
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HVA 真空闸阀 真空插板阀81000系列
上海伯东美国 HVA 超高真空闸阀 81000 系列, 阀门主体材质铝, 适用于真空度 1X10 - 7 mbar 和烘烤温度不超过 150°C 的高真空应用. HVA 真空闸阀 81000系列专为系统集成设计研发, 广泛应用于半导体, 太阳能, LED / FPD, 涂料, 镀膜和生物制药.
HVA 高真空闸阀 81000系列 产品性能:
1. 真空炉中一体钎焊完成, 确保了阀门的最大完整性, 有效消除了虚漏和缺陷部分, 避免阀体变形
2. 比同等口径的不锈钢阀门氢气脱气率低
3. 适用寿命长: 400,000启闭次数
4. 高性能 PEEK 组件
HVA 真空闸阀 81000系列 技术参数:
阀门材质: |
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阀门主体 |
6061-T6铝 |
轴封 |
[DN40-80] 铝; [DN100-500] 304SS |
支架 |
6061-T6/ PEEK |
密封件 |
氟橡胶 |
阀门密封方式: |
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高真空 |
氟橡胶 |
漏率 |
<2×10-9 mbar l/s |
差压关闭 |
1 bar |
真空: |
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压力范围 |
高真空1x10-7 mbar |
漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
差压关闭 |
1.6 bar (任意位置) |
开启前最大压力 |
≤ 30 mbar |
烘烤温度(不含电磁阀): |
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阀门主体 |
120 °c |
驱动方式 |
80 °c |
使用寿命:400,000启闭次数 |
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公称通径:DN100-320 mm |
美国 HVA 真空阀门-美国最大真空阀门制造商, 美国HVA原装进口真空阀门, 超过50年的高真空和超高真空阀门设计与制造. 主营高真空闸阀, 高真空角阀广泛应用于半导体, 镀膜, 激光, 科研, 工业等领域. 上海伯东是美国HVA 真空阀门在中国地区唯一指定总代理商。
上海伯东主营产品:德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵,干式真空泵,罗茨真空泵,旋片真空泵;应用于各种真空环境下的真空计,氦质谱检漏仪,质谱分析仪以及美国考夫曼公司 KRI 离子源 离子枪 霍尔源,美国 HVA 真空阀门,Polycold 冷冻机,离子刻蚀机,Europlasma等离子纳米涂层设备等。
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