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阿瑞斯-μVOC AMC空气分子污染物ppb级VOC监测系统 

人气:787 发布时间:2020-11-12 10:22

关键词:AMC监测 AMC在线监测 AMC在线检测 空气分子污染物监测 ppb级VOC 洁净间AMC 半导体洁净室气体分析仪

产品型号:阿瑞斯-μVOC

应用领域:固废处置

产品价格:0

想了解更多产品详情,请

空气分子污染物 (AMC) 对于高科技生产过程是关键性因素,特别是微电子行业,有机污染物是生产过程中的消极因素,会导致高科技公司因产品质量问题而产生的成本增加。

 

无空气分子污染物生产是理想的生产目标,通过污染物源头控制、传播控制,实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来实现,持久监测AMC浓度,有助于掌握污染物源头、稳定生产、预防过滤器突发性寿命减少等。

阿瑞斯-μVOC提供给客户一个实时快捷持续的在线空气分子污染物AMC监测方案,不需要采样,离线测量。

 

检测限达到sub-ppb

特点:

在线连续质量监测全部自动化系统

低浓度VOC监测

独立分开测量有机物成份

Sub-ppb检测限

集成计算机和控制软件以及数据采集与处理功能

应用:

洁净间污染物监测

 

过滤器状态监测

 

加工过程全组份测量诊断污染物
 

在新风空调箱(MUA)、高效过滤器(FFU)、生产机台上方SWIF下方安装化学过滤器,实际生产过程中过滤器的维护和更换,如果太早或者太迟都会引起产品成本的增加和效率的降低,甚至大的生产事故,停产。

 

 

 

带有16通道的 阿瑞斯-μVOC  系统可以监测过滤器的上下游空气分子污染物AMC浓度,当进来的气体不符合过滤标准时采样点位于进风系统上游;当吸收能力耗尽时采样点位于下游。

工作原理:

GC气相色谱是分离多种复杂混合物常用的技术,这种技术依赖于挥发性有机混合气体在色谱柱的多组份分离。当不同的挥发性有机物从色谱柱分离出来后通过氢气/空气火焰离子检测器探测电导率的变化,从而确定不同组份的浓度,独特的吹扫和载气系统可使仪器达到sub-ppb检测限。


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