多功能湿法设备(涂布| 蚀刻|显影|冲洗|烘干全套服务)
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人气：1193 发布时间：2009-06-04 15:30 关键词：其它 产品型号： 应用领域：水处理 产品价格：面议 想了解更多产品详情，请 |
蚀刻/显影/清洗全套系统（etch, develop & cleaning processes）
多功能湿法设备技术参数：
• 型号8 系列为
• 数码控制处理器
• 天然结实的聚丙烯材料NPP，并带连锁门
• 清晰可视的ECTFE圆顶盖子
• 特氟隆材质的控制阀
• 可调节的氮气扩散处理装置
• 可调降流式排气及排水（含
• 电动双绝缘和超载保护
• 安全门联锁（不允许旋转和试剂滴胶过程中打开处理腔）
• 安全门闭锁（需要特别按键才能打开处理腔）
• 安全门锁（当程序正在运行或运行结束后转头仍在旋转时，处理腔无法打开。）
多功能湿法设备主要特点
• 不锈钢压力容器
• 双重保护的ECTFE包裹不锈钢压力容器（通常为单一
• 多重输出注射器
• 英制或公制尺寸非真空晶圆转头
• 带微型支架的非真空转头
• 真空转头
• 真空转接器（为小至
• 还可提供其他一些转头，可根据样品或具体的尺寸，包括厚度和所有公差要求来自定义。
仪器介绍
蚀刻/显影/清洗全套系统是一种灵活，安全和实惠的研发工具，蚀刻/显影/清洗全套系统EDC 系列常被应用在以溶剂和水为基础的处理过程：蚀刻-清洗-干燥，开发-冲洗-干燥，以及利用溶剂和水的清洗。其旋转涂敷机部分，具有多种板载滴胶阀的零孔隙度特富龙流体路径等特点，干净的ECTFE圆顶盖使用户能够实时观察过程的安全运行，记事是每一单步处理过程模式也可以（我们独有的性能）。
蚀刻/显影/清洗全套EDC 系统具有可编程阀，它可以使单注射器试剂滴胶按照蚀刻，开发和清洗应用的要求重复进行，如冲洗（通常是去离子水或溶剂），然后干燥（通常是氮气）等最后的处理步骤。蚀刻/显影/清洗全套系统采用此序贯阀门技术的晶圆片和管道在完全干燥的环境中开通和关闭处理过程。隔离和独立的给水器可处在静态的位置还可以盖内调节。蚀刻/显影/清洗全套系统还有可选择的动态线性或径向滴胶的特性。虽然在这些过程中常采用非真空转头，蚀刻/显影/清洗全套系统仍然具备真空下压能力。当边缘控制型或真空型转头附上称底时，门插销、门锁和电气联锁为此提供多重保护，也包括大容积的废液和废气排出口。
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