面对当今激烈的商业挑战，微电子制造商正不断努力，力求提高企业盈利、产品质量、运行可靠性，及达到环保要求。纳尔科在水处理和工艺处理方面的创新解决方案能有效帮助您达到以上目标。
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超纯水（UPW）生产
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- 降低耗水量
- 提高效率
- 风险最小化
- 降低总运行成本
锅炉水
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- 定制解决方案以防止系统故障
- 提供解决原有设计问题的咨询服务
收益
- 延长因水引起的设备平均故障间隔时间
BTA测量
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解决方案
- PermaCare® 反渗透处理
收益
- 优化超纯水系统性能
- 防止膜损坏和超纯水水质的下降
- 使回收最大化，降低耗水量和成本
水再利用/循环/再生
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解决方案
- 预处理设备（软化装置、反渗透装置）
- 化学处理方案（NexGuard®）
收益
- 减少燃料用量，提高锅炉效率
- 腐蚀最小化，防止结垢和其他沉积
- 提高蒸汽质量
洗涤塔
收益
- 达到EH&S标准
- 达到空气质量标准
- 减少因结垢和/或生物污垢引起的停机
工艺冷却水（PCW）
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解决方案
-为基于铜的微电子产品制造商提供高精度在线BTA测量
收益
- 优化BTA加药和控制
- 防止加药不足引起的铜线路腐蚀以及加药过量引起的晶片表面污染
- 在无需变动主要工艺的情况下提高产量
化学机械研磨法
废物管理/水回收（CMP WM/WR）
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解决方案
- 全面水务管理（IWM）
收益
- 提高水管理效率
- 降低总运行成本
- 通过水的最佳利用而减少风险
冷却水/冷冻机
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解决方案
- 从废水处理到全面操作和维护管理的一系列CMP相关服务
收益
- 以最低的风险回收大量用水
- 应对未来CMP工艺变化的专业知识
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解决方案
- 全系列阻垢/缓蚀剂和生物杀菌剂
- 控制和监测系统：用于冷却系统应力管理的3D Trasar®；用于冷冻机效率监测的Chill-Factor
- 提供以最低的风险将工艺废水回收用于冷却塔补水的咨询服务
收益
- 腐蚀最小化，并防止结垢和生物污垢
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成功案例
STA.BR.EX® 方案避免了维护停机时间
韩国某半导体工厂遇到粘泥积聚问题，粘泥污染了洗涤塔的填充介质。洗涤塔效率不断降低，而耗水量则不断上升。一年内为清洗填充介质及替换故障线路而造成的停机达74次。纳尔科现场专家与工艺工程师共同开发出一种在线系统清洗方案，并采用ST40作为日常维护方案的一部分。
通过应用纳尔科方案，工厂实现了：
- 年清洗成本节约54, 500 美元
- 年用水成本节约50, 000 美元
- 年产量增加4, 500,000 美元
RO TRASAR®每年可节约500, 000美元
纳尔科与某主要微电子制造商合作进行的一项试验显示，RO TRASAR可提供不间断及质量可靠的超纯水供给。这些重要的成功因素还为客户带来了以下收益：
- 化学品和清洗成本的降低
- 膜使用寿命的延长
- 水质/水利用/节水的改善
- 全球每年节约可达500, 000 美元
