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宁波金晟杰机电有限公司

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气体质量流量计

人气:1703 发布时间:2011-10-13 10:11

关键词:流量计

产品型号:齐全

应用领域:水处理

产品价格:面议

想了解更多产品详情,请

美国Aalborg代理  代理Aalborg气体质量流量计  Aalborg控制器

宁波金晟杰机电有限公司供应美国Aalborg  Aalborg气体质量流量计  Aalborg控制器

是世界上著名的气体质量流量计/控制器的生产厂家其产品广泛用于微电子工艺  真空镀膜   材料科学   石油化工  医药  环保等领域。

产品特点:性价比高  响应速度快  可靠性高 易于集成  环路保护  备总量计数器

典型应用:CVD  PVD  刻蚀  等离子注入  溅射  ITO  玻璃镀膜  表面处理等镀膜工艺。

设计特点:

-刚性金属结构

-流程范围从0开始到10sccm直到01000slpm

-最大压力500psig34.5Bar

-泄漏率110-7氦气

NIST系统标定可追踪的证明

-可倾斜的LCD读表

0-5Vdc4-20mA信号输出

-电路保护

-可用作便携式的设备

0100%比例显示

-可配备流量计算机

精度:±1.5%满量程 包括59℉到77℉的气体温度(15℃到25℃)和560psia0.44.1bar)的压力。可选±1%满量程(标定精度)在给定的温度与压力值条件下。

重复性:±0.5%满量程

回应时间:实际流速±2%超过满量程25-100%一般2

温度系数:0.15%满量程/℃

压力系数:0.01%满量程/psi0.07bar

气体/周围温度:32-122℉(5-50℃)

输出信号:0-5Vdc 最小1000Ω。4-20mA  0-250Ω回路电阻

传感器输出:+12Vdc;最大200Ω。+24Vdc可选

时间恒量:800ms

气体压力:最大1000psig70bar)。可选20psig1.4bar

流体接触面材质:AGFC铝系列为阳极电镀铝  316不锈钢  铜和氟橡胶圆环

BGFC17S 37S 47S 57S 67S 77S不锈钢系列:316不锈钢  氟橡胶圆环可选氯丁橡胶圆环。

方位灵敏度:水平到垂直旋转低于15度;标准校准是在水平位置

连接:GFC173714"卡套螺纹VCR®18"卡套可选(GFC17

GFC4738"卡套螺纹

GFC5738"卡套螺纹

GFC6712"卡套螺纹

GFC7734"卡套螺纹

VCR®34"卡套可选(GFC77)美国Aalborg  Aalborg气体质量流量计  Aalborg控制器该产品种类齐全品质优良 如您有意购买 欢迎来电咨询!


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