北京万侯微电子超纯水处理技术
来源:北京万侯环境技术开发有限公司 阅读:1945 更新时间:2011-04-08 17:11超纯水处理
超纯水系统分为预处理、反渗透系统、精脱盐系统及产品水储存输送系统等部分。
设计原则
1.操作安全、运行稳定、易于管理
2.具备完善、可靠的自我保护功能
3.具备良好的故障恢复性能
4.具备最佳运行状态重现性
系统阶段质量标准(25°C)
1.一级反渗透产水电阻率 ρ>0.1MΩ.cm
2.二级反渗透产水电阻率 ρ>1.0MΩ.cm
3.EDI电脱盐产水电阻率 ρ>15.0MΩ.cm
4.产品水电阻率 ρ>18.0MΩ.cm
系统阶段性能
1.一级反渗透RO系统水利用率 ≥75%
2.二级反渗透RO系统水利用率 ≥85%
3.EDI电脱盐系统水利用率 ≥90%
4.产品水电阻率 >18.0MΩ.cm
5.RO膜使用寿命不低于3年,三年后RO膜脱盐率>95%
EDI膜块使用寿命不低于3年
流程图
主要设备索引
多介质过滤器
活性炭过滤器
精密过滤器
全自动软水器
RO反渗透膜
混床
UF超滤
UV紫外线消毒器
水箱
纯水和膜处理工艺
在纯水处理、尤其是超纯水处理工艺中,各种膜处理工艺被广泛地使用。不同的过滤器能滤除对应的杂质。
每种膜处理设备都有各自的进水要求,所以,纯水处理工艺都是用低级别的过滤设备作为高级别过滤器的前级。
经过RO反渗透的水,其中盐分被过滤掉,才能测量出水的电阻率出现升高。对于超纯水需要二级反渗透才能满足要求。