集成电路的废气处理
更新时间：2009-04-20 15:38
来源：
作者: 朱海英 黄其煜
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摘要：集成电路工业的废气有含氟化物和硫酸雾的酸性废气、含氨的碱性废气、含异丙醇和光刻胶的有机废气，含SiO2 的含尘废气，以及含硅烷、磷烷的工艺尾气等，这些工业废气中大部分成分是有毒有害的，必须进行有效的处理才能排入大气中。本文主要讨论上述工业废气的分类、处理方式、应用范围及应用实例等。
1 引言
近十年来，集成电路产业在我国得到了迅速的发展，随着产业规模的持续扩大，随之而产生的各种污染也不断引起企业、国家等方面的高度重视。集成电路产生的污染物主要有生产废水、工艺废气、生活污水、动力设备噪声和固体废物等。这些污染物必须进行有效治理，才能提供安全的工作环境及保护周边的环境生态。本文将重点介绍工业废气的分类、处理方式、应用范围及实例等。
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