高压脉冲放电等离子体的相关设备
更新时间：2008-05-27 15:08
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1. 等离子体取样质谱仪 （双频CCP放电在线诊断）
灵敏度高，极稳定的3级过滤四极杆，脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围，能量分析，互锁装置可提供过压保护。分析等离子过程中的离子能量、质量分布和中性粒子质量分布。
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2.高性能等离子体光谱测量系统SP2500i
设备可以检测从紫外到近红外的发射光谱；主要配备有：焦距为500 mm的双输出光谱仪单色仪；三块光栅；光谱专用背感光高灵敏度CCD；紫外、可见到近红外光电倍增管及其附属管套高压电源及分压器；检测光纤；相应的输入与输出光路。可以用光电倍增管输出，得到高的分辨率，也可以用CCD输出，可以得到高信燥比并且可以瞬时对比较宽的光谱范围进行取样，降低信号波动带来的误差。设备可以用于大气压与低气压等离子体物理特性的研究，采集微弱信号的光谱，也可以用于精细光谱的测量，如分子的转动光谱。这对于像大气压放电弱等离子体中的成分及相对含量研究以及等离子体温度光谱测量都是非常有益的。
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3.等离子体激光诊断系统
Plasma-master可以对各种放电形式的等离子体进行时间、空间分辩的光学照相诊断，还可以进行空间分辩的发射光谱（OES）、激光诱导荧光（LIF）光谱和激光散射光谱诊断。
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主要参数：空间分辩率为0.2mm，时间分辩率5ns, 光谱学波长范围 200~1100nm, 激光波长扫描范围220nm~650nm, 探测灵敏度10ppb
4.强流脉冲电子束装置（低能电子炮）
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是一种特殊的电物理装置，它能产生短脉冲、高能量、强流电子束，用于金属、半导体材料表面改性、表面强化、合金化、清洗及表面熔覆、快速淬火等。
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