集成电路工业的废气处理
摘要:集成电路工业的废气有含氟化物和硫酸雾的酸性废气、含氨的碱性废气、含异丙醇和光刻胶的有机废气,含SiO2的含尘废气,以及含硅烷、磷烷的工艺尾气等,这些工业废气中大部分成分是有毒有害的,必须进行有效的处理才能排入大气中。本文主要讨论上述工业废气的分类、处理方式、应用范围及应用实例等。
关键词:集成电路,工业废气处理
1引言
近十年来,集成电路产业在我国得到了迅速的展,随着产业规模的持续扩大,随之而产生的各种染也不断引起企业、国家等方面的高度重视。集成路产生的污染物主要有生产废水、工艺废气、生活水、动力设备噪声和固体废物等。这些污染物必须行有效治理,才能提供安全的工作环境及保护周的环境生态。本文将重点介绍工业废气的分类、处方式、应用范围及实例等。
2集成电路的工艺废气分类
集成电路的工艺废气主要分为6大类:
(1)酸性废气:来源于工艺流程中使用各种酸对芯片进行腐蚀、清洗的过程以及扩散等工序,主污染物为氟化物、氯化氢、氮氧化物、硫酸雾等。(2)碱性废气:来源于使用氨水、氨气的刻蚀工,主要污染物为NH3。(3)有机废气:来源于清洗、匀胶、去胶、刻蚀、影工序使用有机溶剂清洗的过程,主要成份为异丙醇、光刻胶等有机物。(4)含尘废气:来源于CVD工艺排气,主要污染物为粉尘(SiO2)。(5)工艺尾气:来源于扩散、离子注入和CVD等工序使用的特殊气体,如硅烷、磷烷、砷烷、乙硼烷(B2H6)等,除部分在工艺中反应消耗外,其余均以尾气的形式排放。(6)热无处理废气:来源于扩散等工序中的热气排放,直接排入大气。
详细内容请查看附件部分：
使用微信“扫一扫”功能添加“谷腾环保网”
如果需要了解更加详细的内容，请点击下载 
201211251453371790.zip
下载该附件请登录，如果还不是本网会员，请先注册
