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微电子工业水质标准

更新时间：2008-09-17 10:44 来源： 作者: 阅读：2136 网友评论0条

 

 

LED(TFT)

256K DRAM

1M DRAM

4M DRAM

16M DRAM

64M DRAM

线宽度(um)

-

1.4 - 1.8

0.8 - 1.0

0.4 - 0.6

0.2 - 0.3

0.1

电阻率

（Mohm,25℃）

>18.0

>17.5

>18.0

>18.0

>18.1

>18.1

TOC（ppb）

<20

<100

<30

<10

<3

<1

微粒（No./ml）

(0.1μ) <10/ml

(0.2μ) <50/ml

(0.1μ) <10/ml

(0.05μ) <30/ml

(0.03μ) <10/ml

(0.03μ) <5/ml

细菌（CFU/ml）

<1/100

<10/100

<1/100

<5/1000

<5/1000

<5/1000

溶解氧（ppb）

<50

<100

<100

<50

<5

<3

二氧化硅（ppb）

<5

<10

<5

<3

<1

<0.5

硼（ppb）

-

-

<2

0.05

0.05

0.05

钠（ppb）

<0.1

<0.2

<0.1

<0.1

0.05

0.01

钾（ppb）

<0.1

<0.3

<0.1

<0.1

0.05

0.02

锌

<0.05

<0.1

<0.05

<0.05

0.02

0.02

铁

<0.05

 

<0.05

<0.05

0.02

0.02

铜

<0.05

 

<0.05

<0.05

0.005

0.005

氯化物

<0.1

<0.2

<0.1

0.1

0.02

0.02

溴化物

 

<0.1

<0.1

0.05

0.02

0.02

硝酸盐

 

<0.1

<0.1

0.05

0.02

0.02

硫酸盐

 

0.1

<0.2

0.05

0.05

0.05

不溶残渣

 

<0.3

0.1

0.05

0.05

0.05

 

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